超纯水（UPW）与纯水（PW）有什么区别？电阻率指标怎么看？

纯水（PW）一般用 RO+EDI 制备，电阻率约 0.1–15 MΩ·cm，满足清洗、配液等要求；超纯水（UPW）经抛光混床/超滤/UV 后电阻率≥18.2 MΩ·cm（25℃），TOC<1–5 ppb，用于晶圆冲洗、光刻。电阻率越接近 18.2 越好，但 >18.2 多为测量饱和或温度补偿偏差，并非越高越优。

核心结论：电阻率反映离子含量，不是微生物/颗粒指标，须配合 TOC、颗粒度、细菌数综合判定。经验值：UPW 在线电导应≤0.055 μS/cm（对应 18.2 MΩ·cm）。落地建议：电阻率探头装于分配环末端回水处，温度补偿按 25℃ 基准。