1、 厂务监控系统介绍
一、T-FMCS 厂务监控系统专为半导体显示、半导体晶圆制造高精密场景定制研发的新一代厂务监控管理系统，是高端产线稳定运行的核心底座系统。系统适配面板、芯片产线高洁净度、恒温恒湿、微压差、高稳定性的严苛生产要求，可对厂区核心厂务设施进行全域实时监控、智能调控、异常告警、数据溯源。 核心管控范围包含洁净空调系统、超纯水系统、特种气体输送系统、化学品供给系统、排风废气系统、动力配电系统、消防安防系统等全品类厂务设备。支持多车间、多厂区、多站点集中统一管控，可精准锁定环境参数波动、设备运行异常，保障产线生产环境恒定达标，从基础设施层面杜绝环境波动引发的产品不良与生产停机问题，是泛半导体工厂智能化基建的核心载体。 二、T-Equipment 设备健康管理系统面向半导体、面板产线核心生产设备的全生命周期智能化管理平台，深度对接工厂CIM设备自动化系统，打破设备数据孤岛。系统可7×24小时实时采集生产设备的运行状态、工艺参数、振动、电流、温度、负载、启停记录等全维度数据，建立设备专属健康档案。 依托AI算法模型实现设备健康度实时评估、潜在故障提前预警、故障根因智能分析、维保计划智能排班，替代传统人工巡检、定期维保模式，有效降低设备非计划停机概率，提升设备综合效率OEE，降低设备维修成本与备品备件损耗，实现设备从“被动维修”向“主动预判、智能运维”转型。 三、T-Yield 良率管理系统聚焦泛半导体行业核心痛点——产品良率管控，是行业专属的品质数据分析与良率优化平台。系统创新性打通FMCS厂务环境数据、设备运行数据、生产工艺数据、品质检测数据，构建全维度良率分析模型。 可自动统计产线良率数据、识别良率波动趋势、定位良率异常诱因，精准关联环境参数漂移、设备微小故障、工艺参数偏差、操作异常等各类影响因子，为工艺优化、设备调参、环境管控、品质整改提供数据支撑，持续助力产线良率提升、不良率压降，最大化挖掘生产产能价值。 四、T-APC 先进过程控制平台面向高端产线工艺稳定性优化的智能控制平台，主打生产工艺参数的精准闭环控制。针对面板曝光、刻蚀、薄膜沉积、晶圆制程等核心精密工序，通过实时采集工艺运行数据，依托算法模型动态修正工艺参数偏差，实现工艺参数自适应调节、精准稳态控制。 有效解决传统人工调参精度不足、参数波动大、工艺一致性差的问题，大幅提升生产工艺稳定性与产品一致性，从工艺层面保障产品良率、提升生产精度，适配高端面板、先进制程芯片的精密生产需求。 五、AI视觉缺陷检测系统基于深度学习算法自主研发的工业智能视觉检测产品，全面替代传统人工AOI检测模式，适用于面板基板、显示屏、晶圆表面、封装外观等多场景缺陷检测。可精准识别划痕、污渍、颗粒、色差、崩边、电路缺陷等各类微小瑕疵，支持缺陷自动检测、智能分类、等级判定、数据归档。 系统检测准确率高达99.5%，检测速度、精度、稳定性均优于传统人工检测，有效解决人工漏检、误检、效率低、成本高的行业痛点，实现质检环节全自动化、智能化升级。 2、 AI核心技术路线（算法架构+模型原理+技术细节） 格创东智深耕泛半导体垂直工业AI领域，摒弃通用算法的泛化短板，搭建以深度学习为核心、时序AI为支撑、工业大模型为赋能、多模态视觉为落地的四层AI技术体系，精准适配面板、半导体产线高精度、高实时、零容错的生产场景，所有算法模型均经过工业场景专项优化，具备高落地性、高准确率、高稳定性三大特征。 一、设备故障诊断：CNN+Transformer融合算法设备故障诊断采用CNN卷积神经网络+Transformer自注意力模型融合架构，形成“微观特征提取+长序列关联分析”的双层诊断逻辑。其中CNN卷积神经网络专注设备微观特征提取，可将设备振动波形、电流波动曲线、温度变化曲线等一维时序信号转化为图像特征，精准捕捉设备微小磨损、轻微异常带来的细微数据偏差，解决传统算法无法识别的早期隐性故障。 Transformer模型依托多头自注意力机制，可对设备数天、数月的超长周期运行数据进行关联分析，挖掘设备渐变式老化、工况漂移等长期隐性规律。双模型融合互补，彻底解决工业设备复杂工况下误报、漏报问题，大幅提升故障诊断精准度。 二、能耗与工况预测：时序Transformer模型针对工厂能耗预测、环境参数预测、设备负荷预测场景，全面升级采用时序Transformer模型，替代传统LSTM、GRU时序算法。传统时序算法存在长序列遗忘、长周期预测偏差大的短板，而时序Transformer通过时间位置编码机制，可完整保留全年、全季度、全月度工况特征，精准捕捉季节温度变化、生产排班调整、设备启停规律对能耗与洁净环境参数的影响。 该模型可实现高精度能耗趋势预测、负荷预判、环境参数预推演，为厂区节能调度、提前工况调控、错峰用能提供精准算法支撑，完美适配大厂连续化、高精密生产的预测管控需求。 三、场景智能化赋能：自研工业大模型2023年正式发布自研泛半导体工业专属大模型，深耕面板、半导体垂直场景语料专项训练，区别于通用大模型，具备极强的工业场景适配性与落地性。模型核心支撑两大核心能力：一是自然语言交互，工作人员可通过自然语言快速查询设备数据、能耗数据、良率报表、故障记录，降低操作门槛；二是工业代码自动生成，支持简易算法脚本、报表脚本、控制逻辑代码自动生成，大幅降低平台二次开发与运维成本，提升数字化平台迭代效率。 四、智能视觉检测：改进型YOLO深度学习网络视觉检测算法基于改进型YOLO深度学习检测网络搭建，针对泛半导体行业微小缺陷、低对比度缺陷、相似缺陷三大检测难点完成专项迭代优化。融合图像多模态特征融合、自适应光照校准、缺陷特征增强算法，可适配产线高速运动、复杂光照、高反光面板/晶圆表面等极端生产场景。 模型经过海量工业缺陷样本训练，最终实现99.5%的超高检测准确率，同时保障毫秒级单帧检测速度，完全匹配产线高速量产节拍，可全面替代传统人工AOI检测，实现质检自动化、标准化、智能化升级。 3、系统部署拓扑（三层架构+拓扑图+详细解析） 格创东智全系产品采用行业主流轻量化微服务架构，搭载Kubernetes容器自动编排技术，支持服务弹性扩容、快速迭代、高可用、高冗余运行。整体采用工业标准化设备层—边缘层—平台层三级架构，搭配混合云部署模式，严格适配半导体、面板行业工业数据安全合规要求，兼顾数据安全性、系统稳定性与运维便捷性。 一、整体拓扑架构二、各层级详细功能说明1. 现场设备层 全域数据采集源头，全面覆盖产线核心生产设备、厂务配套设备、各类高精度传感器与智能检测仪表。核心原生对接工厂CIM设备自动化系统，同步采集生产设备台账、运行状态、工艺参数、故障信息、维保记录；同时接入洁净空调、超纯水、特气、动力配电、能耗仪表等厂务设备数据，实现生产、厂务、能耗、环境全场景数据全覆盖采集。 2. 边缘网关层（自研T-Gateway网关） 作为数据传输与前置预处理的核心枢纽，自研T-Gateway网关兼容市面主流工业协议，可快速适配多品牌、多类型工业设备，彻底解决设备协议孤岛问题。核心负责现场多源异构数据的采集、清洗、去重、脱敏、本地缓存与边缘计算，可在网关端完成初步异常判断、简易设备联动控制，有效降低平台算力压力，保障数据传输的高实时性与高稳定性。 3. 平台服务层（T-FMCS核心微服务平台） 基于微服务架构搭建，通过Kubernetes实现服务容器化智能编排，支持各功能模块独立部署、独立迭代、弹性扩容、故障自愈。平台严格采用工业混合云部署架构，贴合泛半导体行业数据安全管控规范：设备核心运行数据、精密工艺参数、晶圆/面板良率数据、洁净环境数据等高涉密数据全部本地私有云部署、本地存储，杜绝核心生产数据外流；报表统计、远程运维、移动端查询、系统升级迭代等非核心服务部署于云端，大幅降低企业本地运维压力，兼顾数据安全与运维便捷性。平台集成实时监控、大数据分析、智能告警、设备管控、良率分析、AI推理、报表归档等全栈功能，是整套智能化体系的算力核心与业务中枢。 4、核心竞争优势 一、TCL产业生态背书，面板行业龙头壁垒公司原生孵化于TCL集团，深度依托TCL华星全球领先的面板制造工艺与工厂运维经验，深耕显示面板行业多年，全面掌握高世代LCD、OLED产线的厂务管控、工艺优化、品质管控核心逻辑。拥有行业顶级的产线落地案例与技术积淀，在面板FMCS智能化领域的场景适配性、工艺理解度远超行业通用服务商，具备天然的产业生态与场景壁垒。 二、半导体赛道高速突破，头部客户资源富集在稳固面板行业优势的同时，快速拓展半导体晶圆制造赛道，短时间内完成行业头部客户全覆盖，成功服务长江存储、中芯国际等国内顶尖晶圆制造企业，具备12寸先进制程晶圆产线的厂务智能化、设备智能运维、品质精细化管控落地能力，半导体行业案例与技术能力快速跻身行业第一梯队。 三、自研AI技术领先，实现场景替代式创新公司核心AI算法、工业大模型、视觉检测系统均为自主研发，技术完全可控。AI视觉检测精度达到行业顶尖水平，可完全替代传统人工AOI检测，大幅降低质检人工成本；设备故障诊断、时序预测算法深度适配工业复杂工况，落地准确率高、实用性强，AI技术可深度落地赋能生产提效、降本、提质，区别于行业纯软件集成厂商。 四、一体化整合方案，全域数据深度互通区别于行业单一FMCS系统服务商，格创东智独家打造FMCS厂务监控+设备管理+良率管理一体化解决方案，三大系统原生数据互通、业务协同。彻底打破厂务环境、生产设备、工艺参数、产品品质的数据孤岛，可从环境、设备、工艺多维度联动分析生产异常，实现从“单一设备监控”到“全链路生产优化”的升级，方案完整性与落地效果行业领先。 5、行业整体解决方案详解 针对面板、半导体晶圆制造产线高洁净度、高恒温恒湿、高工艺精度、高生产稳定性四大核心严苛生产要求，格创东智依托全系自研产品与AI算法能力，打造行业独有的“厂务基建+设备运维+工艺控制+品质良率+智能质检”五位一体全流程解决方案，全方位解决高端产线参数漂移、设备故障、良率波动、能耗偏高、运维低效等核心痛点。 一、厂务环境全域智能管控方案通过T-FMCS系统对产线洁净空调、超纯水、特种气体、化学品输送、排风废气、动力配电等核心系统进行7×24小时不间断监控与智能调控。实时监测车间温湿度、洁净度、压差、气体浓度、水质纯度等核心环境参数，一旦出现参数漂移，系统自动告警并联动设备微调参数，保障生产环境全程恒定达标，彻底杜绝环境波动导致的产品不良、工艺异常、生产停机问题，为精密生产筑牢环境底座。 二、生产设备智能预测运维方案依托T-Equipment设备管理系统，深度对接工厂CIM设备自动化系统，全面采集核心生产设备的运行工况、工艺参数、电气数据。通过CNN+Transformer融合AI算法，实时评估设备健康状态，提前预判设备潜在故障，精准输出维保方案与维修时间。实现设备故障提前预警、隐患提前排查，有效降低非计划停机时间，提升设备综合稼动率与生产稳定性。 三、生产良率智能优化方案基于T-Yield良率管理系统，整合FMCS环境数据、设备运行数据、生产工艺数据、成品检测数据，构建多维度良率分析模型。系统可自动追踪良率波动根源，精准定位环境参数、设备状态、工艺参数、操作异常等不良诱因，为工艺整改、设备调优、环境管控提供精准数据支撑，形成“数据监测—异常分析—优化落地—效果复盘”的良率优化闭环。 四、工艺精准控制与智能质检方案通过T-APC先进过程控制平台实现曝光、刻蚀、薄膜沉积等核心工序工艺参数的自适应精准调控，规避人工调参误差，保障工艺稳定性与产品一致性；搭配AI视觉检测系统，实现面板、晶圆产品缺陷全自动、高精度检测与智能分类，替代传统人工质检，大幅提升检测效率与检测精度，实现生产过程与品质管控的全流程智能化升级。 6、 标杆项目案例概要 一、TCL华星深圳t7高世代面板产线FMCS项目国内顶级高世代柔性面板智能化标杆项目，T-FMCS系统全面覆盖t7产线所有车间及配套厂区，全局监控点位超8万个，实现全厂厂务设备、环境参数、能耗设备的集中监控、智能调控与统一运维。通过智能化管控与AI节能优化，项目落地后厂区整体运营成本降低15%，产线环境稳定性、设备运行可靠性大幅提升，为高精密面板稳定量产提供坚实保障。 二、长江存储武汉基地厂务系统项目服务国内头部存储芯片量产基地，为12寸晶圆先进制程产线提供全套厂务智能化解决方案。系统完美适配晶圆制造超高洁净度、超高稳定性的严苛生产标准，全程保障超纯水、特气、洁净环境、动力系统的稳定运行，有效支撑长江存储12寸晶圆规模化、稳定量产，充分验证方案在高端半导体场景的适配性与稳定性。 三、京东方成都B19产线设备管理项目为京东方高端面板产线搭建全套T-Equipment设备健康管理系统，实现核心生产设备全生命周期数字化、智能化运维。通过AI故障预警、智能维保调度、设备健康度评估等功能落地，有效解决设备运维粗放、故障频发、稼动率偏低的问题，项目落地后产线设备综合效率OEE提升10%，生产产能与稳定性显著优化。 四、中芯国际上海工厂智能运维项目为中芯国际上海晶圆工厂搭建设备智能预警与运维管理体系，依托深度学习AI算法模型，精准识别设备隐性故障与运行异常。系统故障预警准确率高达95%，大幅减少设备突发故障停机次数，降低维修成本与生产损失，助力晶圆产线实现高效、稳定、低成本量产，树立半导体行业智能运维标杆。
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